晶圓烤膠機(jī)也叫光刻烤膠機(jī)，是一種用于晶圓光刻膠真空烘焙和晶圓烘膠的設(shè)備。其核心功能是通過精確控制加熱過程來固化晶圓上的光刻膠。

　　晶圓烤膠機(jī)的加熱板通常由具有良好熱傳導(dǎo)性的材料制成，如鋁合金或石墨。這些材料能夠快速且均勻地將熱量傳遞給晶圓。通過精確控制加熱板的溫度，晶圓烤膠機(jī)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠的精確固化。

　　晶圓烤膠機(jī)的溫度控制范圍廣泛，通常可以實(shí)現(xiàn)從室溫到幾百攝氏度的精確調(diào)節(jié)。溫度控制精度也非常高，可以滿足不同工藝對(duì)溫度的要求。此外，晶圓烤膠機(jī)還配備了超快速加熱技術(shù)，使溫度能夠以每秒數(shù)攝氏度的速度迅速增加，從而提高了生產(chǎn)效率。

　　晶圓烤膠機(jī)適用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝的，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位進(jìn)行老化、溫度試驗(yàn)及干燥、烘焙和熱處理等作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。